Struktura válce s povlakem SiC pro válcový susceptor

Stručný popis:

Společnost Semicera nabízí komplexní sortiment susceptorů a grafitových komponent určených pro různé epitaxní reaktory.

Díky strategickým partnerstvím s předními výrobci originálního vybavení (OEM), rozsáhlým znalostem materiálů a pokročilým výrobním možnostem dodává Semicera návrhy na míru, které splňují specifické požadavky vaší aplikace. Náš závazek k dokonalosti zajišťuje, že získáte optimální řešení pro vaše potřeby v oblasti epitaxních reaktorů.

 

 


Detaily produktu

Štítky produktů

Naše společnost poskytujeSiC povlakprocesní služby na povrchu grafitu, keramiky a dalších materiálů metodou CVD, takže speciální plyny obsahující uhlík a křemík mohou reagovat při vysoké teplotě za vzniku vysoce čistých molekul Sic, které mohou být ukládány na povrch potažených materiálů a tvořitOchranná vrstva SiCpro epitaxi barelového typu hypnotický.

 

Hlavní vlastnosti:

1. Vysoce čistý grafit potažený SiC

2. Vynikající tepelná odolnost a tepelná rovnoměrnost

3. PokutaPovlak z krystalů SiCpro hladký povrch

4. Vysoká odolnost vůči chemickému čištění

 
硅外延2-Si epitaxní díly

 Hlavní specifikaceCVD-SIC povlak

Vlastnosti SiC-CVD

Krystalová struktura Fáze β FCC
Hustota g/cm³ 3.21
Tvrdost Tvrdost podle Vickerse 2500
Velikost zrna μm 2~10
Chemická čistota % 99,99995
Tepelná kapacita J·kg-1 ·K-1 640
Teplota sublimace ℃ 2700
Felexurální síla MPa (RT 4bodový) 415
Youngův modul Gpa (ohyb 4 bodů, 1300 ℃) 430
Tepelná roztažnost (CTE) 10-6K-1 4,5
Tepelná vodivost (W/mK) 300
2--cvd-sic-čistota---99-99995-_60366
5----sic-crystal_242127
Pracoviště Semicera
Pracoviště Semicera 2
Strojní zařízení
Zpracování CNN, chemické čištění, CVD povlakování
Naše služby

  • Předchozí:
  • Další: