Úvod do povlaků z karbidu křemíku
Náš povlak z karbidu křemíku (SiC) vyrobený metodou chemického nanášení z plynné fáze (CVD) je vysoce odolná a otěruvzdorná vrstva, ideální pro prostředí vyžadující vysokou odolnost proti korozi a teplu.Povlak z karbidu křemíkuse nanáší v tenkých vrstvách na různé substráty procesem CVD a nabízí vynikající výkonnostní vlastnosti.
Klíčové vlastnosti
● -Výjimečná čistota: Pyšní se ultračistým složením99,99995 %, našeSiC povlakminimalizuje rizika kontaminace v citlivých polovodičových operacích.
● -Vynikající odolnostVykazuje vynikající odolnost proti opotřebení i korozi, díky čemuž je ideální pro náročné chemické a plazmové aplikace.
● -Vysoká tepelná vodivostDíky svým vynikajícím tepelným vlastnostem zajišťuje spolehlivý výkon i za extrémních teplot.
● -Rozměrová stabilitaDíky nízkému koeficientu tepelné roztažnosti si zachovává strukturální integritu v širokém rozsahu teplot.
● -Zvýšená tvrdostS tvrdostí40 GPa, náš SiC povlak odolává značnému nárazu a oděru.
● -Hladký povrchPoskytuje zrcadlový povrch, snižuje tvorbu částic a zvyšuje provozní efektivitu.
Aplikace
Semicera SiC povlakyse používají v různých fázích výroby polovodičů, včetně:
● -Výroba LED čipů
● -Výroba polykrystalického křemíku
● -Růst polovodičových krystalů
● -Křemíková a SiC epitaxe
● -Tepelná oxidace a difúze (TO&D)
Dodáváme komponenty s povlakem SiC vyrobené z vysokopevnostního izostatického grafitu, uhlíku vyztuženého uhlíkovými vlákny a rekrystalizovaného karbidu křemíku 4N, určené pro reaktory s fluidním ložem.Převodníky STC-TCS, reflektory CZ jednotek, lodička pro destičky SiC, lopatka pro destičky SiC, trubice pro destičky SiC a nosiče destiček používané v procesech PECVD, křemíkové epitaxi a MOCVD.
Výhody
● -Prodloužená životnostVýrazně snižuje prostoje zařízení a náklady na údržbu, čímž zvyšuje celkovou efektivitu výroby.
● -Vylepšená kvalitaDosahuje vysoce čistých povrchů nezbytných pro zpracování polovodičů, a tím zvyšuje kvalitu výrobků.
● -Zvýšená efektivitaOptimalizuje tepelné a CVD procesy, což vede ke kratším dobám cyklů a vyšším výtěžkům.
Technické specifikace
● -StrukturaFCC β fáze polykrystalická, převážně orientovaná (111)
● -Hustota: 3,21 g/cm³
● -TvrdostTvrdost dle Vickese 2500 (zatížení 500 g)
● -Lomová houževnatost: 3,0 MPa·m1/2
● -Koeficient tepelné roztažnosti (100–600 °C)4,3 × 10-6k-1
● -Modul pružnosti (1300 °C):435 GPA
● -Typická tloušťka filmu:100 µm
● -Drsnost povrchu:2–10 µm
Údaje o čistotě (měřeno hmotnostní spektroskopií s doutnavým výbojem)
| Živel | ppm | Živel | ppm |
| Li | < 0,001 | Cu | < 0,01 |
| Be | < 0,001 | Zn | < 0,05 |
| Al | < 0,04 | Ga | < 0,01 |
| P | < 0,01 | Ge | < 0,05 |
| S | < 0,04 | As | < 0,005 |
| K | < 0,05 | In | < 0,01 |
| Ca | < 0,05 | Sn | < 0,01 |
| Ti | < 0,005 | Sb | < 0,01 |
| V | < 0,001 | W | < 0,05 |
| Cr | < 0,05 | Te | < 0,01 |
| Mn | < 0,005 | Pb | < 0,01 |
| Fe | < 0,05 | Bi | < 0,05 |
| Ni | < 0,01 |
|
