Zavedení nosiče destiček
KATEGORIE PRODUKTŮ
▶Systém nosičů destiček pro procesy PECVD a TALOX
• Grafitový člun PECVD a TALOX (M4~M12)
• Vertikální SM-člun (M4, M6)
• Implantát a sprcha - grafitová část (M4~M6)
• C/C zásobník a keramický povlak
• Kovový RIE-tác a keramický povlak
• Vakuové těsnění: O-kroužek a SQ-kroužek
▶Proces texturování a leptání za mokra
• Nosič nebo kazeta LSC H (M4~M12)
• Nosič nebo kazeta LSC V (M4~M12)
• Nosič nebo kazeta ASC (M4, M6)
• Přepravní a úložný box W/F (M4~M12)
• Řada transportních kol (válců)
▶Nosič solárních článků a kovový nosič
• Nosič nebo kazeta TRC (M4~M12)
• Zásobník (s opaskem)
GRAFITOVÝ ČLUN (typ H)
19P6-216CT (WF M4~M12)
GRAFITOVÝ ČLUN (typ H)
21P6-240CT WF M4~M12)
GRAFITOVÝ ČLUN (typ H)
23P7-308CT (s vnitřním závitem M4~M12)
GRAFITOVÝ ČLUN (typ H)
22P/7-294TP (s vnitřním závitem M4~M12)
GRAFITOVÝ ČLUN (typ H)
W182-22P7-294CT (s vnitřním závitem M12)
W182-21P6-240CT (s vnitřním závitem M12)
PŘEPRAVNÍ A ÚLOŽNÁ KRABIČKA WF (~M12)
PŘÍSADNÍ ZÁSOBNÍK nebo DRŽÁK (M4~M10)
PŘÍSADNÍ ZÁSOBNÍK nebo DRŽÁK (M4~M10)
VERTIKÁLNÍ ČLUN (SM) M6
LSC-H-NOSIČ (~M12)
LSC-V-NOSIČ (~M12)
NOSIČ ASC (~M6)
NOSIČ TRC (~M12)
NOSIČ TRC (~M12)
GRAFITOVÝ ČLUN (M12)
Systém nosičů destiček pro proces PECVD
▶ GRAFITOVÝ ČLUN (navržen CT) Proces M10/M12
• SPECIÁLNÍ DESIGNOVÝ KONCEPT
▶ GRAFITOVÝ ČLUN (navržen CT) proces M4/M6
▶ Příslušenství pro lodě
▶ VERTIKÁLNÍ LODIČKA – DESTIČKA 161,7 mm
▶ VERTIKÁLNÍ LODIČKA – 166 mm DESTIČKA
▶ VERTIKÁLNÍ ČLUN – 161,7 mm, 166 mm DESTIČKA
Nosič solárních článků a kovový nosič TRC
TYP: Automatizace
VELIKOST OPLETKY: ① 156 × 156 MM ② 156,75 × 156,75 MM
③161,7x161,7MM ④166x166MM
⑤ 180×180 mm ⑥ 210×210 mm
POUŽITÍ: Přenášení (kazeta)
KAPACITA: 100 listů
ROZTEČ: 4,76 mm / 5,953 mm / 6,35 mm
ROZMĚRY: Přibližně 559 × 220 × 220 mm
Přibližně 712 × 260 × 260 mm
VÝHODA: Atmosféra
MATERIÁL: PLAMEN, BOČNÍ LIST - Hliník (eloxovaný)
BOČNÍ DESKA - POM (antistatická)
Kryt spodní lišty - EPDM/PU/VITON (ASE)
TRC-METAL CARRIER (U'SER LINE)
TRC-METAL CARRIER (U'SER LINE)
TRC-METAL CARRIER (U'SER LINE)
SPRCHOVÁ DESKA A IMPLANTÁT, NOSIČ
