Grafitový nástroj s povlakem z karbidu křemíku pro epitaxi

Stručný popis:

Společnost Semicera nabízí komplexní sortiment susceptorů a grafitových komponent určených pro různé epitaxní reaktory.

Díky strategickým partnerstvím s předními výrobci originálního vybavení (OEM), rozsáhlým znalostem materiálů a pokročilým výrobním možnostem dodává Semicera návrhy na míru, které splňují specifické požadavky vaší aplikace. Náš závazek k dokonalosti zajišťuje, že získáte optimální řešení pro vaše potřeby v oblasti epitaxních reaktorů.

 

 


Detaily produktu

Štítky produktů

Popis

Naše společnost poskytuje služby v oblasti povlakování SiC metodou CVD na povrchu grafitu, keramiky a dalších materiálů, kde speciální plyny obsahující uhlík a křemík reagují při vysoké teplotě za vzniku vysoce čistých molekul SiC, které se ukládají na povrch povlakovaných materiálů a vytvářejí ochrannou vrstvu SIC.

o (1)

o (2)

Hlavní vlastnosti

1. Vysoce čistý grafit potažený SiC

2. Vynikající tepelná odolnost a tepelná rovnoměrnost

3. Jemný krystalický povlak SiC pro hladký povrch

4. Vysoká odolnost vůči chemickému čištění

Hlavní specifikace povlaku CVD-SIC

Vlastnosti SiC-CVD
Krystalová struktura Fáze β FCC
Hustota g/cm³ 3.21
Tvrdost Tvrdost podle Vickerse 2500
Velikost zrna μm 2~10
Chemická čistota % 99,99995
Tepelná kapacita J·kg-1 ·K-1 640
Teplota sublimace ℃ 2700
Felexurální síla MPa (RT 4bodový) 415
Youngův modul Gpa (ohyb 4 bodů, 1300 ℃) 430
Tepelná roztažnost (CTE) 10-6K-1 4,5
Tepelná vodivost (W/mK) 300
Pracoviště Semicera
Pracoviště Semicera 2
Strojní zařízení
Zpracování CNN, chemické čištění, CVD povlakování
Naše služby

  • Předchozí:
  • Další: