SiC deska je druh 0 porézní hutné tělové keramiky, která je založena na SiC a slinutá při 2250 ℃.Obsah SiC je více než 99,6 %, pevnost v ohybu je více než 410 mpa a tepelná vodivost je 140 W / MK je to jediný keramický materiál odolný vůči HF, H2SO4 a jiné silné kyselé korozi.
Výhody keramiky z karbidu křemíku:
1, koeficient tepelné roztažnosti je malý, velmi blízko křemíku;
2, vynikající odolnost proti opotřebení, tvrdost po diamantu;
3, vynikající tepelná vodivost, vysoká teplotní odolnost a rychlý odvod tepla;
![Sklíčidlo z karbidu křemíku 3](http://www.semi-cera.com/uploads/Silicon-carbide-chuck3.png)
Technické parametry
![图片1](http://www.semi-cera.com/uploads/15a6ba392.png)
-
Zakázkové reakční slinování vysokoteplotní odolnost...
-
Zařízení pro řezání laserem microjet (LMJ) lze použít...
-
Polovodičový člun z karbidu křemíku může být...
-
Vysoce čistá polovodičová izolace z oxidu hlinitého...
-
První polovina dílu – SiC epitaxní zařízení...
-
Polovodičové mikroporézní keramické vakuové sklíčidlo ...