Epitaxní díly MOCVD

Proces s povlakem SiC pro grafitové nosiče s povlakem SiC
Epitaxe GaN na bázi křemíku
Polovodičový monokrystalický křemíkový epitaxní disk potažený SiC
Grafitový susceptor s povlakem z karbidu křemíku, 8palcový nosič plátků
19 kusů dílů zařízení MOCVD s 2palcovým grafitovým základem
Grafitový susceptor s povlakem z karbidu křemíku, 6 kusů 6palcový nosič plátků
Disk z karbidu křemíku pro MOCVD
Antioxidační miska MOCVD s vysoce čistým SiC povlakem
41 kusů součástí vybavení MOCVD 4palcové grafitové základny
36 kusů dílů vybavení MOCVD s grafitovou základnou 4 palce
Modrá/zelená LED epitaxe