Zařízení pro řezání laserem microjet (LMJ) lze použít v polovodičovém průmyslu

Stručný popis:

Laserová mikrojetová technologie (LMJ) je metoda laserového zpracování, která kombinuje laser s vodním paprskem „tenkým jako vlas“ a přesně vede laserový paprsek do zpracovatelské pozice prostřednictvím totálního odrazu pulsu v mikro-vodním paprsku způsobem. podobné tradičnímu optickému vláknu.Vodní paprsek nepřetržitě ochlazuje řeznou oblast a účinně odstraňuje nečistoty ze zpracování.


Detail produktu

Štítky produktu

Výhody zpracování LMJ

Inherentní vady běžného laserového zpracování lze překonat chytrým využitím technologie laserového laserového mikrojetu (LMJ) k šíření optických charakteristik vody a vzduchu.Tato technologie umožňuje, aby se laserové pulsy plně odražené ve zpracovávaném vysoce čistém vodním paprsku nerušeně dostaly na povrch obrábění jako u optického vlákna.

Zařízení pro zpracování laserem Microjet-2-3
fcghjdxfrg

Hlavní rysy technologie LMJ jsou:

1. Laserový paprsek je sloupcová (paralelní) struktura.

2. Laserový puls je přenášen ve vodním paprsku jako optické vlákno, bez jakéhokoli rušení okolního prostředí.

3. Laserový paprsek je zaostřen v zařízení LMJ a výška obrobené plochy se v průběhu celého procesu zpracování nemění, takže není nutné v průběhu zpracování pokračovat v zaostřování se změnou hloubky zpracování.

4. Průběžně čistěte povrch.

mikrotrysková technologie řezání laserem (1)

5. Kromě ablace materiálu obrobku každým laserovým pulzem, každou jednotlivou časovou jednotku od začátku každého pulzu do dalšího pulzu, je zpracovávaný materiál přibližně 99 % času ve stavu chladicí vody v reálném čase. , který téměř eliminuje tepelně ovlivněnou zónu a přetavenou vrstvu, ale zachovává vysokou účinnost zpracování.

zsdfgafdeg

Obecná specifikace

LCSA-100

LCSA-200

Objem pracovní desky

125 x 200 x 100

460×460×300

Lineární osa XY

Lineární motor.Lineární motor

Lineární motor.Lineární motor

Lineární osa Z

100

300

Přesnost polohování μm

+/- 5

+/- 3

Opakovaná přesnost polohování μm

+/- 2

+/- 1

Zrychlení G

0,5

1

Numerické ovládání

3-osé

3-osé

Laser

 

 

Typ laseru

DPSS Nd: YAG

DPSS Nd: YAG, pulzní

Vlnová délka nm

532/1064

532/1064

Jmenovitý výkon W

50/100/200

200/400

Vodní proud

 

 

Průměr trysky μm

25-80

25-80

Tlak trysky bar

100-600

0-600

Velikost/hmotnost

 

 

Rozměry (stroj) (Š x D x V)

1050 x 800 x 1870

1200 x 1200 x 2000

Rozměry (rozvaděč) (š x d x v)

700 x 2300 x 1600

700 x 2300 x 1600

Hmotnost (vybavení) kg

1170

2500-3000

Hmotnost (rozvaděč) kg

700-750

700-750

Komplexní spotřeba energie

 

 

Input

AC 230 V +6%/ -10%, jednosměrný 50/60 Hz ±1%

AC 400 V +6%/-10%, 3fázový 50/60 Hz ±1%

Špičková hodnota

2,5 kVA

2,5 kVA

Join

10 m napájecí kabel: P+N+E, 1,5 mm2

10 m napájecí kabel: P+N+E, 1,5 mm2

Rozsah uživatelských aplikací v polovodičovém průmyslu

≤4 palce kulatý ingot

≤ 4 palce plátky ingotu

≤4 palce rýhování ingotů

 

≤6 palců kulatý ingot

≤6 palcové plátky ingotu

≤ 6 palců rýhování ingotů

Stroj splňuje teoretickou hodnotu 8palcového kruhu/krájení/krájení a konkrétní praktické výsledky je třeba optimalizovat strategie řezání

ZFVBsdF
mikrotrysková technologie řezání laserem (1)
mikrotrysková technologie řezání laserem (2)

Semicera Pracovní místo Semicera pracoviště 2 Zařízení stroje CNN zpracování, chemické čištění, CVD povlak Naše služba


  • Předchozí:
  • Další: