Monokrystalový materiál karbidu křemíku (SiC) má velkou šířku zakázaného pásu (~Si 3krát), vysokou tepelnou vodivost (~Si 3,3krát nebo GaAs 10krát), vysokou rychlost migrace elektronového nasycení (~Si 2,5krát), vysoký elektrický průraz pole (~Si 10krát nebo GaAs 5krát) a další vynikající vlastnosti.
Polovodičové materiály třetí generace zahrnují především SiC, GaN, diamant atd., protože jejich šířka zakázaného pásu (Eg) je větší nebo rovna 2,3 elektronvoltům (eV), také známá jako polovodičové materiály s širokým pásmem. Ve srovnání s polovodičovými materiály první a druhé generace mají polovodičové materiály třetí generace výhody vysoké tepelné vodivosti, vysokého průrazného elektrického pole, vysoké rychlosti migrace nasycených elektronů a vysoké vazebné energie, které mohou splnit nové požadavky moderní elektronické technologie na vysokou odolnost vůči teplotě, vysokému výkonu, vysokému tlaku, vysoké frekvenci a radiaci a dalším drsným podmínkám. Má důležité aplikační vyhlídky v oblasti národní obrany, letectví, letectví, průzkumu ropy, optického skladování atd., a může snížit energetické ztráty o více než 50 % v mnoha strategických odvětvích, jako je širokopásmová komunikace, solární energie, výroba automobilů, polovodičové osvětlení a inteligentní síť a může snížit objem zařízení o více než 75 %, což má zásadní význam pro rozvoj lidské vědy a technologie.
Semicera energy může zákazníkům poskytnout vysoce kvalitní vodivý (vodivý), poloizolační (poloizolační), HPSI (poloizolační poloizolační) substrát z karbidu křemíku; Kromě toho můžeme zákazníkům poskytnout homogenní a heterogenní epitaxní desky z karbidu křemíku; Můžeme také upravit epitaxní list podle specifických potřeb zákazníků a neexistuje žádné minimální množství objednávky.
| Položky | Výroba | Výzkum | Dummy |
| Parametry krystalu | |||
| Polytyp | 4H | ||
| Chyba orientace povrchu | <11-20 >4±0,15° | ||
| Elektrické parametry | |||
| Dopant | dusík typu n | ||
| Odpor | 0,015-0,025 ohm·cm | ||
| Mechanické parametry | |||
| Průměr | 150,0 ± 0,2 mm | ||
| Tloušťka | 350±25 μm | ||
| Primární orientace bytu | [1-100]±5° | ||
| Primární plochá délka | 47,5±1,5mm | ||
| Vedlejší byt | Žádný | ||
| TTV | ≤5 μm | ≤10 μm | ≤15 μm |
| LTV | ≤3 μm (5mm*5mm) | ≤5 μm (5mm*5mm) | ≤10 μm (5mm*5mm) |
| Luk | -15μm ~ 15μm | -35μm ~ 35μm | -45μm ~ 45μm |
| Warp | ≤35 μm | ≤45 μm | ≤55 μm |
| Přední (Si-face) drsnost (AFM) | Ra≤0,2nm (5μm*5μm) | ||
| Struktura | |||
| Hustota mikrotrubek | <1 ea/cm2 | <10 ea/cm2 | <15 ea/cm2 |
| Kovové nečistoty | ≤5E10 atomů/cm2 | NA | |
| BPD | ≤1500 ea/cm2 | ≤3000 ea/cm2 | NA |
| TSD | ≤500 ea/cm2 | ≤1000 ea/cm2 | NA |
| Přední kvalita | |||
| Přední | Si | ||
| Povrchová úprava | Si-face CMP | ||
| Částice | ≤60 ea/wafer (velikost ≥0,3μm) | NA | |
| Škrábance | ≤5 ea/mm. Kumulativní délka ≤ Průměr | Kumulativní délka≤2*Průměr | NA |
| Pomerančová kůra / důlky / skvrny / pruhy / praskliny / kontaminace | Žádný | NA | |
| Hranové třísky/prohlubně/lomy/šestihranné desky | Žádný | ||
| Polytypové oblasti | Žádný | Kumulativní plocha ≤ 20 % | Kumulativní plocha ≤ 30 % |
| Přední laserové značení | Žádný | ||
| Zpět Kvalita | |||
| Zadní úprava | C-face CMP | ||
| Škrábance | ≤5 ea/mm, Kumulativní délka ≤2*Průměr | NA | |
| Vady na zadní straně (oděrky na hranách/prohlubně) | Žádný | ||
| Drsnost zad | Ra≤0,2nm (5μm*5μm) | ||
| Zadní laserové značení | 1 mm (od horního okraje) | ||
| Okraj | |||
| Okraj | Zkosení | ||
| Obal | |||
| Obal | Epi-ready s vakuovým balením Multi-wafer kazetové balení | ||
| *Poznámky： "NA" znamená bez požadavku. Položky, které nejsou uvedeny, mohou odkazovat na SEMI-STD. | |||
