karbid křemíku Keramický efektor pro přenos waferů v různých polovodičových procesech

Krátký popis:

Mechanické rameno z karbidu křemíku je vytvořeno procesem izostatického lisování a slinováno při vysoké teplotě. Podle požadavků návrhových výkresů uživatele lze velikost obrysu, velikost tloušťky a tvar upřesnit tak, aby vyhovovaly specifickým požadavkům uživatelů.


Detail produktu

Štítky produktu

12

Vlastnosti a výhody

1. Přesné rozměry a tepelná stabilita

2.Vysoká specifická tuhost a vynikající tepelná rovnoměrnost, dlouhodobé používání není snadné ohýbat deformaci;

3.Má hladký povrch a dobrou odolnost proti opotřebení, takže bezpečně manipuluje s čipem bez kontaminace částicemi.

4.Odpor karbidu křemíku v 106-108Ω, nemagnetický, v souladu s požadavky specifikace anti-ESD; Dokáže zabránit hromadění statické elektřiny na povrchu čipu

5. Dobrá tepelná vodivost, nízký koeficient roztažnosti.

Efektor robotického ramene
SiC End Effector
Porovnání keramických materiálů SIC
ADFvZCVXCD

  • Předchozí:
  • Další: