Popis
Grafitový susceptor sPovlak z karbidu křemíku, 6 kusů6palcový nosič plátkůod semicera nabízí výjimečnou odolnost a tepelnou vodivost pro vysoce výkonné aplikace epitaxního růstu. Semicera se specializuje na pokročilé susceptory určené k vylepšení procesů, jako je napřSi EpitaxeaSiC epitaxezajišťující spolehlivý výkon v náročných polovodičových prostředích.
Tento susceptor je speciálně navržen pro použití sSusceptor MOCVDsystémy a nabízí kompatibilitu s různými nosiči, jako je PSS Etching Carrier, ICP Etching Carrier a RTP Carrier. Je ideální pro výrobu monokrystalického křemíku a sestavy LED epitaxních susceptorů, nabízí všestrannost v různých konfiguracích, včetně provedení Barrel Susceptor a Pancake Susceptor.
Grafitový susceptor s povlakem karbidu křemíku také podporuje aplikace v sektoru solární energie díky integraci s fotovoltaickými díly a vyniká v procesech GaN na SiC epitaxi. Jeho 6palcová kapacita nosiče waferů zajišťuje vysokou propustnost, což z něj činí základní nástroj pro výrobce v polovodičovém a fotovoltaickém průmyslu.
Hlavní vlastnosti
1 .Vysoce čistý grafit potažený SiC
2. Vynikající tepelná odolnost a tepelná rovnoměrnost
3. DobřeKrystalový povlak SiCpro hladký povrch
4. Vysoká odolnost proti chemickému čištění
Hlavní specifikace povlaků CVD-SIC:
| SiC-CVD | ||
| Hustota | (g/cc) | 3.21 |
| Pevnost v ohybu | (Mpa) | 470 |
| Tepelná roztažnost | (10-6/K) | 4 |
| Tepelná vodivost | (W/mK) | 300 |
Balení a expedice
Schopnost zásobování:
10 000 kusů/kusů za měsíc
Balení a doručení:
Balení: Standardní a silné balení
Poly bag + krabice + karton + paleta
Přístav:
Ningbo/Shenzhen/Šanghaj
Dodací lhůta:
| Množství (kusy) | 1-1000 | >1000 |
| Odhad. čas (dny) | 30 | K vyjednávání |
