Vysoce čistý SiC nosič/susceptor

Krátký popis:

Ložiskový kotouč z karbidu křemíku je také známý jako zásobník SIC, leptací kotouč z karbidu křemíku, leptací kotouč ICP. Zásobník z karbidu křemíku pro LED leptání (SiC zásobník) φ600mm je speciální příslušenství pro hluboké leptání křemíku (ICP leptací stroj).

Pošlete nám e-mail

Detail produktu

Štítky produktu

Popis

Keramika z karbidu křemíku má vynikající mechanické vlastnosti při pokojové teplotě, jako je vysoká pevnost, vysoká tvrdost, vysoký modul pružnosti atd., má také vynikající stabilitu při vysokých teplotách, jako je vysoká tepelná vodivost, nízký koeficient tepelné roztažnosti a dobrá specifická tuhost a optická výkon zpracování.
Jsou zvláště vhodné pro výrobu přesných keramických dílů pro zařízení s integrovanými obvody, jako jsou litografické stroje, používané hlavně k výrobě SiC nosiče/susceptoru, SiC wafer člunu, sacího kotouče, vodní chladicí desky, přesného měřícího reflektoru, mřížky a dalších keramických konstrukčních dílů

dopravce2

dopravce3

dopravce4

Výhody

Vysoká teplotní odolnost: normální použití při 1800 ℃
Vysoká tepelná vodivost: ekvivalentní grafitovému materiálu
Vysoká tvrdost: tvrdost druhá po diamantu, nitridu boru
Odolnost proti korozi: silné kyseliny a zásady nemají korozi, odolnost proti korozi je lepší než karbid wolframu a oxid hlinitý
Nízká hmotnost: nízká hustota, blízká hliníku
Žádná deformace: nízký koeficient tepelné roztažnosti
Odolnost proti tepelným šokům: vydrží prudké změny teploty, odolá teplotním šokům a má stabilní výkon
Nosič karbidu křemíku, jako je nosič sic leptání, ICP leptací susceptor, se široce používá v polovodičovém CVD, vakuovém naprašování atd. Zákazníkům můžeme poskytnout přizpůsobené nosiče plátků z materiálů křemíku a karbidu křemíku pro různé aplikace.

Výhody

Vlastnictví	Hodnota	Metoda
Hustota	3,21 g/cc	Dřez-plovák a rozměr
Specifické teplo	0,66 J/g °K	Pulzní laserový záblesk
Pevnost v ohybu	450 MPa560 MPa	4bodový ohyb, RT4 bodový ohyb, 1300°
Lomová houževnatost	2,94 MPa m1/2	Mikroindentace
Tvrdost	2800	Vicker's, zátěž 500g
Elastický modulYoungův modul	450 GPa 430 GPa	Ohyb 4 pt, ohyb RT4 pt, 1300 °C
Velikost zrna	2 – 10 um	SEM

Profil společnosti

WeiTai Energy Technology Co., Ltd. je předním dodavatelem pokročilé polovodičové keramiky a jediným výrobcem v Číně, který může současně poskytovat vysoce čistou keramiku z karbidu křemíku (zejména rekrystalizovaný SiC) a CVD SiC povlak. Kromě toho se naše společnost věnuje také keramickým polím, jako je oxid hlinitý, nitrid hliníku, oxid zirkoničitý a nitrid křemíku atd.

Mezi naše hlavní produkty patří: leptací kotouč z karbidu křemíku, lodní vlek z karbidu křemíku, člun z karbidu křemíku (fotovoltaické a polovodičové), trubka pece z karbidu křemíku, konzolová lopatka z karbidu křemíku, sklíčidla z karbidu křemíku, paprsek z karbidu křemíku a také povlak Ta CVC SiC povlak. Produkty používané hlavně v polovodičovém a fotovoltaickém průmyslu, jako jsou zařízení pro růst krystalů, epitaxi, leptání, balení, potahování a difúzní pece atd.
asi (2)