Pevné CVD díly z karbidu křemíku jsou uznávány jako primární volba pro RTP/EPI kroužky a základny a díly dutin plazmového leptání, které pracují při vysokých systémových požadovaných provozních teplotách (>1500 ℃), požadavky na čistotu jsou zvláště vysoké (>99,9995 %) a výkon je zvláště dobrý, když je odolnost vůči chemikáliím obzvláště vysoká. Tyto materiály neobsahují sekundární fáze na okraji zrna, takže jejich složky produkují méně částic než jiné materiály. Kromě toho lze tyto součásti čistit pomocí horkého HF/HCl s malou degradací, což má za následek méně částic a delší životnost.
