Semicera představuje vysoce kvalitní zakázkovou výrobukonzolová pádla z karbidu křemíkuvytvořený tak, aby povýšil výrobní procesy polovodičů. InovativníSiC pádlodesign zajišťuje výjimečnou životnost a vysokou tepelnou odolnost, což z něj činí základní součást pro manipulaci s plátkem v náročných vysokoteplotních prostředích.
ThePádlo z karbidu křemíkuje zkonstruován tak, aby vydržel extrémní tepelné cykly při zachování strukturální integrity a zajistil spolehlivou přepravu plátků během kritických fází výroby polovodičů. Díky vynikající mechanické pevnostioplatkový člunminimalizuje riziko poškození waferů, což vede k vyšším výnosům a konzistentní kvalitě produkce.
Jedna z klíčových inovací SiC pádla Semicera spočívá v možnostech vlastního designu. Pádlo je přizpůsobeno specifickým výrobním potřebám a nabízí flexibilitu při integraci s různými nastaveními zařízení, což z něj činí ideální řešení pro moderní výrobní procesy. Lehká, ale robustní konstrukce umožňuje snadnou manipulaci a snižuje provozní prostoje, což přispívá ke zvýšení efektivity výroby polovodičů.
Kromě svých tepelných a mechanických vlastnostíPádlo z karbidu křemíkunabízí vynikající chemickou odolnost, což mu umožňuje spolehlivě fungovat i v drsném chemickém prostředí. Díky tomu je zvláště vhodný pro použití v procesech zahrnujících leptání, nanášení a vysokoteplotní zpracování, kde je zachování integrity waferového člunu zásadní pro zajištění vysoce kvalitních výstupů.
Fyzikální vlastnosti rekrystalizovaného karbidu křemíku | |
Vlastnictví | Typická hodnota |
Pracovní teplota (°C) | 1600 °C (s kyslíkem), 1700 °C (redukující prostředí) |
obsah SiC | > 99,96 % |
Volný obsah Si | < 0,1 % |
Objemová hmotnost | 2,60-2,70 g/cm3 |
Zjevná pórovitost | < 16 % |
Pevnost v tlaku | > 600 MPa |
Pevnost v ohybu za studena | 80-90 MPa (20 °C) |
Pevnost v ohybu za tepla | 90-100 MPa (1400 °C) |
Tepelná roztažnost @1500°C | 4,70 10-6/°C |
Tepelná vodivost @1200°C | 23 W/m•K |
Modul pružnosti | 240 GPa |
Odolnost proti tepelným šokům | Mimořádně dobré |