Izostatický PECVD grafitový člun

Izostatický grafitový člun PECVD Doporučený obrázek

Krátký popis:

Izostatický grafitový člun PECVD je široce používán v různých spojích výroby polovodičů, jako je nanášení polysilikonového filmu, nanášení oxidového filmu, nanášení nitridového filmu atd. Jeho vynikající výkon z něj činí ideální nosič plátků v procesu PECVD.

Pošlete nám e-mail

Detail produktu

Štítky produktu

Izostatický grafitový člun SEMICERA PECVD je vysoce čistý grafitový produkt s vysokou hustotou navržený pro podporu plátků v procesu PECVD (plasma enhancement chemical vapor deposition). SEMICERA používá pokročilou technologii izostatického lisování, aby zajistila, že grafitový člun má vynikající odolnost vůči vysokým teplotám, odolnost proti korozi, rozměrovou stabilitu a dobrou tepelnou vodivost, což je nepostradatelný spotřební materiál v procesu výroby polovodičů.

Izostatický grafitový člun SEMICERA PECVD má následující výhody:

▪ Vysoká čistota: Grafitový materiál má vysokou čistotu a nízký obsah nečistot, aby se zabránilo kontaminaci povrchu destičky.

▪ Vysoká hustota: Vysoká hustota, vysoká mechanická pevnost, odolá vysoké teplotě a vysokému vakuu.

▪ Dobrá rozměrová stabilita: Malá rozměrová změna při vysoké teplotě pro zajištění stability procesu.

▪ Vynikající tepelná vodivost: Účinně přenáší teplo, aby se zabránilo přehřátí plátku.

▪ Silná odolnost proti korozi: Schopnost odolat erozi různými korozivními plyny a plazmou.

Výkonový parametr	semicera	SGL R6510	Výkonový parametr
Objemová hmotnost (g/cm3)	1,91	1,83	1,85
Pevnost v ohybu (MPa)	63	60	49
Pevnost v tlaku (MPa)	135	130	103
Tvrdost Shore (HS)	70	64	60
Koeficient tepelné roztažnosti (10-6/K)	85	105	130
Koeficient tepelné roztažnosti (10-6/K)	5,85	4.2	5,0
Odpor (μΩm)	11-13	13	10

Výhody výběru nás:
▪ Výběr materiálu: Pro zajištění kvality produktu se používají vysoce čisté grafitové materiály.
▪ Technologie zpracování: K zajištění hustoty a jednotnosti produktu se používá izostatické lisování.
▪ Přizpůsobení velikosti: Grafitové čluny různých velikostí a tvarů lze upravit podle potřeb zákazníka.
▪ Povrchová úprava: K dispozici jsou různé metody povrchové úpravy, jako je povlakování karbidu křemíku, nitridu boru atd., aby byly splněny různé procesní požadavky.