Aplikace keramiky z karbidu křemíku v oblasti polovodičů

Polovodiče:

Polovodičový průmysl se řídí průmyslovým zákonem „jedna generace technologie, jedna generace procesu a jedna generace zařízení“ a modernizace a iterace polovodičových zařízení závisí do značné míry na technologickém průlomu přesných součástí. Mezi nimi jsou přesné keramické díly nejreprezentativnějšími materiály pro přesné polovodičové díly, které mají důležité aplikace v řadě hlavních výrobních článků polovodičů, jako je chemická depozice z par, fyzikální depozice z par, iontová implantace a leptání. Jako jsou ložiska, vodicí lišty, obložení, elektrostatická upínače, mechanická manipulační ramena atd. Zejména uvnitř dutiny zařízení plní roli podpory, ochrany a odklonu.

640

Od roku 2023 také Nizozemsko a Japonsko postupně vydaly nové předpisy nebo vyhlášky o zahraničním obchodu o kontrole, přidaly předpisy o vývozních licencích pro polovodičová zařízení včetně litografických strojů a postupně se objevil trend antiglobalizace polovodičů. Význam nezávislé kontroly dodavatelského řetězce je stále důležitější. Tváří v tvář poptávce po lokalizaci dílů polovodičových zařízení tuzemské společnosti aktivně podporují průmyslový rozvoj. Společnost Zhongci Electronics realizovala lokalizaci high-tech přesných dílů, jako jsou topné desky a elektrostatické upínače, čímž vyřešila problém „úzkého místa“ v průmyslu domácích polovodičových zařízení; Společnost Dezhi New Materials, přední domácí dodavatel grafitových základů potažených SiC a leptacích kroužků SiC, úspěšně dokončila financování ve výši 100 milionů juanů atd….
Vysoce vodivé keramické substráty z nitridu křemíku:

Keramické substráty z nitridu křemíku se používají hlavně v pohonných jednotkách, polovodičových zařízeních a invertorech čistě elektrických vozidel (EV) a hybridních elektrických vozidel (HEV) a mají obrovský tržní potenciál a aplikační vyhlídky.

640 (1)

V současnosti vyžadují keramické substrátové materiály z nitridu křemíku s vysokou tepelnou vodivostí pro komerční aplikace tepelnou vodivost ≥85 W/(m·K), pevnost v ohybu ≥650MPa a lomovou houževnatost 5~7MPa·m1/2. Společnosti, které skutečně mají schopnost masově vyrábět keramické substráty z nitridu křemíku s vysokou tepelnou vodivostí, jsou zejména Toshiba Group, Hitachi Metals, Japan Electric Chemical, Japan Maruwa a Japan Fine Ceramics.

Domácí výzkum keramických substrátových materiálů z nitridu křemíku také pokročil. Tepelná vodivost keramického substrátu z nitridu křemíku připraveného procesem odlévání pásky pekingské pobočky Sinoma High-Tech Nitride Ceramics Co., Ltd. je 100 W/(m·K); Beijing Sinoma Artificial Crystal Research Institute Co., Ltd. úspěšně připravil keramický substrát z nitridu křemíku s pevností v ohybu 700-800MPa, lomovou houževnatostí ≥8MPa·m1/2 a tepelnou vodivostí ≥80W/(m·K) optimalizací způsobu a procesu slinování.


Čas odeslání: 29. října 2024