Všechny tenké vrstvy používané při výrobě polovodičů mají odpor a odpor filmu má přímý dopad na výkon zařízení. Obvykle neměříme absolutní odpor fólie, ale k charakterizaci používáme plošný odpor.
Co je plošný odpor a objemový odpor?
Objemový odpor, také známý jako objemový odpor, je vlastní vlastnost materiálu, která charakterizuje, jak moc materiál brání toku elektrického proudu. Běžně používaný symbol ρ představuje, jednotkou je Ω.
Listový odpor, také známý jako listový odpor, anglický název je listový odpor, který odkazuje na hodnotu odporu filmu na jednotku plochy. Běžně používané symboly Rs nebo ρs k vyjádření, jednotka je Ω/sq nebo Ω/□
Vztah mezi těmito dvěma je: plošný odpor = objemový odpor/tloušťka filmu, tj. Rs =ρ/t
Proč měřit odpor plechu?
Měření absolutního odporu fólie vyžaduje přesnou znalost geometrických rozměrů fólie (délka, šířka, tloušťka), která má mnoho proměnných a je velmi složitá pro velmi tenké nebo nepravidelně tvarované fólie. Odpor plechu souvisí pouze s tloušťkou fólie a lze jej rychle a přímo testovat bez složitých výpočtů velikosti.
Které filmy potřebují měřit plošný odpor?
Obecně platí, že vodivé filmy a polovodičové filmy je třeba měřit na čtvercový odpor, zatímco izolační filmy se měřit nemusí.
Při dotování polovodičů se také měří plošný odpor křemíku.
Jak měřit čtvercový odpor?
Metoda čtyř sond se obecně používá v průmyslu. Metoda čtyř sond může měřit čtvercový odpor v rozsahu od 1E-3 do 1E+9Ω/sq. Metoda čtyř sond může zabránit chybám měření způsobeným přechodovým odporem mezi sondou a vzorkem.
Metody měření:
1) Umístěte čtyři lineárně uspořádané sondy na povrch vzorku.
2) Aplikujte konstantní proud mezi dvě vnější sondy.
3) Určete odpor měřením rozdílu potenciálů mezi dvěma vnitřními sondami
RS: plošný odpor
ΔV: Změna napětí měřená mezi vnitřními sondami
I : Proud aplikovaný mezi vnějšími sondami
Čas odeslání: 29. března 2024