Proces suchého leptání se obvykle skládá ze čtyř základních stavů: před leptáním, částečným leptáním, pouhým leptáním a přeleptáním. Hlavní charakteristiky jsou rychlost leptání, selektivita, kritický rozměr, uniformita a detekce koncového bodu. Obrázek 1 Před leptáním Obrázek 2 Částečné leptání Obrázek...
Přečtěte si více