Zavedení nosiče plátků
KATEGORIE PRODUKTŮ
▶Systém nosičů plátků pro proces PECVD & TALOX
• PECVD & TALOX grafitový člun (M4~M12)
• Vertikální SM-Boat (M4, M6)
• Implantát & sprchový grafitový díl (M4~M6)
• C/C zásobník a keramický povlak
• Kovový RIE-Tray & Ceramic Coating
• Vakuové těsnění: O-kroužek a SQ-kroužek
▶Proces přenosu textury a mokrého leptání
• LSC H-Carrier nebo kazeta (M4~M12)
• LSC V-Carrier nebo kazeta (M4~M12)
• ASC nosič nebo kazeta (M4, M6)
• W/F nosič a úložný box (M4~M12)
• Série transportních kol (válců).
▶Nosič solárních článků a kovový nosič
• Nosič TRC nebo kazeta (M4~M12)
• Zásobník (s PÁSEM)
GRAFITOVÁ LOĎ (Typ H)
19P6-216CT (WF M4~M12)
GRAFITOVÁ LOĎ (Typ H)
21P6-240CT WF M4~M12)
GRAFITOVÁ LOĎ (Typ H)
23P7-308CT(W/F M4~M12)
GRAFITOVÁ LOĎ (Typ H)
22P/7-294TP (W/F M4~M12)
GRAFITOVÁ LOĎ (Typ H)
W182-22P7-294CT (W/F M12)
W182-21P6-240CT (W/F M12)
WF NOSIČ A SKLADOVACÍ BOX (~M12)
C/C TRAY nebo CARRIER (M4~M10)
C/C TRAY nebo CARRIER (M4~M10)
VERTIKÁLNÍ LOĎ (SM) M6
LSC-H-CARRIER(~M12)
LSC-V-CARRIER(~M12)
ASC CARRIER (~M6)
TRC CARRIER(~M12)
TRC CARRIER(~M12)
GRAFITOVÁ LOĎ (M12)
Systém nosičů plátků pro proces PECVD
▶ GRAFITOVÁ LOĎ (CT-Design) M10/M12 Proces
• SPECIÁLNÍ KONCEPCE DESIGNU
▶ GRAFITOVÁ LOĎ (CT-Design) Proces M4/M6
▶ Díly příslušenství LODĚ
▶ VERTIKÁLNÍ LOĎKA-161,7mm PLÁNKA
▶ VERTIKÁLNÍ ČLUN-166mm PLÁTKA
▶ VERTIKÁLNÍ LOĎ - 161,7 mm, 166 mm PLÁTKA
Nosič solárních článků a kovový nosič TRC
TYP: Automatizace
VELIKOST PLÁTKY: ① 156×156MM ② 156,75×156,75MM
③161,7x161,7MM ④166x166MM
⑤ 180 × 180 mm ⑥ 210 × 210 mm
POUŽITÍ: Přenášení (kazeta)
KAPACITA: 100 listů
ROZTEČ: 4,76 mm/5,953 mm/6,35 mm
ROZMĚRY: Cca 559 × 220 × 220 mm
Přibližně 712 × 260 × 260 mm
VÝHODA: Atmosféra
MATERIÁL: FLAME,BOČNÍ LIŠTA-hliník (eloxování)
BOČNÍ DESKA-POM (antistatická)
Kryt spodní lišty-EPDM/PU/VITON (ASE)
TRC-METAL CARRIER (UŽIVATELSKÁ ŘADA)
TRC-METAL CARRIER (UŽIVATELSKÁ ŘADA)
TRC-METAL CARRIER (UŽIVATELSKÁ ŘADA)
SPRCHOVÁ DESKA A IMPLANTÁT, NOSIČ
