Semiceras potěšením nabízíKazeta PFA, prémiová volba pro manipulaci s plátky v prostředí, kde je chemická odolnost a trvanlivost prvořadá. Tato kazeta je vyrobena z vysoce čistého materiálu Perfluoroalkoxy (PFA) a je navržena tak, aby vydržela nejnáročnější podmínky při výrobě polovodičů a zajistila bezpečnost a integritu vašich destiček.
Bezkonkurenční chemická odolnostTheKazeta PFAje navržen tak, aby poskytoval vynikající odolnost vůči široké škále chemikálií, což z něj činí perfektní volbu pro procesy, které zahrnují agresivní kyseliny, rozpouštědla a další agresivní chemikálie. Tato robustní chemická odolnost zajišťuje, že kazeta zůstane neporušená a funkční i v nejkorozívnějším prostředí, čímž se prodlouží její životnost a sníží se potřeba časté výměny.
Vysoce čistá konstrukceSemicera'sKazeta PFAje vyroben z ultračistého materiálu PFA, který je kritický pro zabránění kontaminaci během zpracování plátků. Tato vysoce čistá konstrukce minimalizuje riziko tvorby částic a chemického vyluhování a zajišťuje, že vaše destičky jsou chráněny před nečistotami, které by mohly ohrozit jejich kvalitu.
Zvýšená odolnost a výkonNavrženo pro odolnost,Kazeta PFAzachovává svou strukturální integritu při extrémních teplotách a náročných podmínkách zpracování. Ať už je tato kazeta vystavena vysokým teplotám nebo opakované manipulaci, zachovává si svůj tvar a výkon a nabízí dlouhodobou spolehlivost v náročných výrobních prostředích.
Přesné inženýrství pro bezpečnou manipulaciTheSemicera PFA kazetavyznačuje se precizní konstrukcí, která zajišťuje bezpečnou a stabilní manipulaci s destičkami. Každá štěrbina je pečlivě navržena tak, aby držela destičky bezpečně na místě a zabránila jakémukoli pohybu nebo posunutí, které by mohlo vést k poškození. Toto přesné inženýrství podporuje konzistentní a přesné umístění plátků, což přispívá k celkové efektivitě procesu.
Všestranná aplikace napříč procesyDíky svým vynikajícím materiálovým vlastnostem jeKazeta PFAje dostatečně univerzální pro použití v různých fázích výroby polovodičů. Je zvláště vhodný pro mokré leptání, chemické nanášení par (CVD) a další procesy, které zahrnují drsná chemická prostředí. Jeho přizpůsobivost z něj činí základní nástroj pro zachování integrity procesu a kvality waferů.
Závazek ke kvalitě a inovacímVe společnosti Semicera jsme odhodláni poskytovat produkty, které splňují nejvyšší průmyslové standardy. TheKazeta PFAje příkladem tohoto závazku a nabízí spolehlivé řešení, které se hladce integruje do vašich výrobních procesů. Každá kazeta prochází přísnou kontrolou kvality, aby bylo zajištěno, že splňuje naše přísná výkonnostní kritéria a přináší dokonalost, kterou od Semicery očekáváte.
| Položky | Výroba | Výzkum | Dummy |
| Parametry krystalu | |||
| Polytyp | 4H | ||
| Chyba orientace povrchu | <11-20 >4±0,15° | ||
| Elektrické parametry | |||
| Dopant | dusík typu n | ||
| Odpor | 0,015-0,025 ohm·cm | ||
| Mechanické parametry | |||
| Průměr | 150,0 ± 0,2 mm | ||
| Tloušťka | 350±25 μm | ||
| Primární orientace bytu | [1-100]±5° | ||
| Primární plochá délka | 47,5±1,5mm | ||
| Vedlejší byt | Žádný | ||
| TTV | ≤5 μm | ≤10 μm | ≤15 μm |
| LTV | ≤3 μm (5mm*5mm) | ≤5 μm (5mm*5mm) | ≤10 μm (5mm*5mm) |
| Luk | -15μm ~ 15μm | -35μm ~ 35μm | -45μm ~ 45μm |
| Warp | ≤35 μm | ≤45 μm | ≤55 μm |
| Přední (Si-face) drsnost (AFM) | Ra≤0,2nm (5μm*5μm) | ||
| Struktura | |||
| Hustota mikrotrubek | <1 ea/cm2 | <10 ea/cm2 | <15 ea/cm2 |
| Kovové nečistoty | ≤5E10 atomů/cm2 | NA | |
| BPD | ≤1500 ea/cm2 | ≤3000 ea/cm2 | NA |
| TSD | ≤500 ea/cm2 | ≤1000 ea/cm2 | NA |
| Přední kvalita | |||
| Přední | Si | ||
| Povrchová úprava | Si-face CMP | ||
| Částice | ≤60 ea/wafer (velikost ≥0,3μm) | NA | |
| Škrábance | ≤5 ea/mm. Kumulativní délka ≤ Průměr | Kumulativní délka≤2*Průměr | NA |
| Pomerančová kůra / důlky / skvrny / pruhy / praskliny / kontaminace | Žádný | NA | |
| Hranové třísky/prohlubně/lomy/šestihranné desky | Žádný | ||
| Polytypové oblasti | Žádný | Kumulativní plocha ≤ 20 % | Kumulativní plocha ≤ 30 % |
| Přední laserové značení | Žádný | ||
| Zpět Kvalita | |||
| Zadní úprava | C-face CMP | ||
| Škrábance | ≤5 ea/mm, Kumulativní délka ≤2*Průměr | NA | |
| Vady na zadní straně (oděrky na hranách/prohlubně) | Žádný | ||
| Drsnost zad | Ra≤0,2nm (5μm*5μm) | ||
| Zadní laserové značení | 1 mm (od horního okraje) | ||
| Okraj | |||
| Okraj | Zkosení | ||
| Obal | |||
| Obal | Epi-ready s vakuovým balením Multi-wafer kazetové balení | ||
| *Poznámky： "NA" znamená bez požadavku. Položky, které nejsou uvedeny, mohou odkazovat na SEMI-STD. | |||
