RTPCVD SiC kroužkyjsou široce používány v průmyslových a vědeckých oblastech ve vysokoteplotním a korozivním prostředí. Hraje důležitou roli ve výrobě polovodičů, optoelektronice, přesných strojích a chemickém průmyslu. Mezi konkrétní aplikace patří:
1. Výroba polovodičů:RTP CVD SiC kroužkymůže být použit pro ohřev a chlazení polovodičových zařízení, poskytuje stabilní regulaci teploty a zajišťuje přesnost a konzistenci procesu.
2. Optoelektronika: Díky své vynikající tepelné vodivosti a vysoké teplotní odolnosti RTPCVD SiC kroužkylze použít jako podpůrné materiály a materiály pro rozptyl tepla pro lasery, komunikační zařízení z optických vláken a optické komponenty.
3. Přesné stroje: RTP CVD SiC kroužky lze použít pro přesné přístroje a zařízení ve vysokoteplotním a korozivním prostředí, jako jsou vysokoteplotní pece, vakuová zařízení a chemické reaktory.
4. Chemický průmysl: Díky své odolnosti proti korozi a chemické stabilitě lze kroužky RTP CVD SiC použít v nádobách, potrubích a reaktorech při chemických reakcích a katalytických procesech.
Systém Epi
RTP systém
CVD systém
Výkon produktu:
1. Seznamte se s procesem pod 28nm
2. Super odolnost proti korozi
3. Super čistý výkon
4. Super tvrdost
5. Vysoká hustota
6. Vysoká teplotní odolnost
7. Odolnost proti opotřebení
Aplikace produktu:
Materiály z karbidu křemíku se vyznačují vysokou tvrdostí, odolností proti opotřebení, odolností proti korozi a vysokou teplotní stabilitou. Produkty s vynikajícím komplexním výkonem jsou široce používány v procesech suchého leptání a TF/Diffusion.
Výkon produktu:
1. Seznamte se s procesem pod 28nm
2. Super odolnost proti korozi
3. Super čistý výkon
4. Super tvrdost
5. Vysoká hustota
6. Vysoká teplotní odolnost
7. Odolnost proti opotřebení
Vývoj kompozitního procesu:
• Grafit + SiC povlak
• Pevné CVD SiC
• Slinutý SiC+CVD
• SicSintered SiC
Vývoj více typů produktů:
• Prsten
• Tabulka
• Susceptor
• Sprchová hlavice
