Popis
MOCVD ohřívač substrátu, topná tělesa pro MOCVD
Grafitový ohřívač:
Komponenty grafitového ohřívače se používají ve vysokoteplotní peci s teplotou dosahovanou 2200 stupňů ve vakuovém prostředí a 3000 stupňů v prostředí deoxidovaného a vloženého plynu.
Hlavní vlastnosti grafitového ohřívače
1. rovnoměrnost topné struktury.
2. dobrá elektrická vodivost a vysoké elektrické zatížení.
3. odolnost proti korozi.
4. neoxidovatelnost.
5. vysoká chemická čistota.
6. vysoká mechanická pevnost.
Výhodou je energetická účinnost, vysoká hodnota a nenáročnost na údržbu.
Můžeme vyrobit antioxidační grafitový kelímek s dlouhou životností, grafitovou formu a všechny části grafitového ohřívače.
Chemický grafit
Výhoda: Odolnost vůči vysokým teplotám
Použití: MOCVD/Vakuová pec/horká zóna
Objemová hustota: 1,68-1,91 g/cm3
Pevnost v ohybu: 30-46Mpa
Odpor: 7-12μΩm
Hlavní parametry grafitového topidla
| Technická specifikace | VET-M3 |
| Objemová hustota (g/cm3) | ≥1,85 |
| Obsah popela (PPM) | ≤500 |
| Tvrdost Shore | ≥45 |
| Specifický odpor (μ.Ω.m) | ≤12 |
| Pevnost v ohybu (Mpa) | ≥40 |
| Pevnost v tlaku (Mpa) | ≥70 |
| Max. Velikost zrna (μm) | ≤43 |
| Součinitel tepelné roztažnosti Mm/°C | ≤4,4*10-6 |
Grafitový ohřívač pro elektrickou pec má vlastnosti tepelné odolnosti, odolnosti proti oxidaci, dobré elektrické vodivosti a lepší mechanické náročnosti. Můžeme obrábět různé typy grafitových ohřívačů podle návrhů zákazníků.
Profil společnosti
WeiTai Energy Technology Co., Ltd. je předním dodavatelem pokročilé polovodičové keramiky a jediným výrobcem v Číně, který může současně poskytovat vysoce čistou keramiku z karbidu křemíku (zejména rekrystalizovaný SiC) a CVD SiC povlak. Kromě toho se naše společnost věnuje také keramickým polím, jako je oxid hlinitý, nitrid hliníku, oxid zirkoničitý a nitrid křemíku atd.
Mezi naše hlavní produkty patří: leptací kotouč z karbidu křemíku, lodní vlek z karbidu křemíku, člun z karbidu křemíku (fotovoltaické a polovodičové), trubka pece z karbidu křemíku, konzolová lopatka z karbidu křemíku, sklíčidla z karbidu křemíku, paprsek z karbidu křemíku a také povlak Ta CVC SiC povlak. Produkty používané hlavně v polovodičovém a fotovoltaickém průmyslu, jako jsou zařízení pro růst krystalů, epitaxi, leptání, balení, potahování a difúzní pece atd.
Naše společnost disponuje kompletním výrobním zařízením jako je lisovací, slinovací, zpracovatelská, nanášecí zařízení atd., které dokáže doplnit všechny potřebné vazby výroby produktu a má vyšší kontrolovatelnost kvality produktu; Optimální plán výroby lze vybrat podle potřeb produktu, což vede k nižším nákladům a poskytuje zákazníkům konkurenceschopnější produkty; Můžeme flexibilně a efektivně naplánovat výrobu na základě požadavků na doručení objednávek a ve spojení s online systémy pro správu objednávek, které zákazníkům poskytují rychlejší a zaručenější dodací lhůty.
