Solid SiC Focus Ring od společnosti Semicera je špičková součástka navržená tak, aby splňovala požadavky pokročilé výroby polovodičů. Vyrobeno z vysoce čistéKarbid křemíku (SiC)Tento zaostřovací kroužek je ideální pro širokou škálu aplikací v polovodičovém průmyslu, zejména vCVD SiC procesy, plazmové leptání aICPRIE (Inductively Coupled Plasma Reactive Ion Leptání). Známý pro svou výjimečnou odolnost proti opotřebení, vysokou tepelnou stabilitu a čistotu zajišťuje dlouhotrvající výkon ve vysoce namáhaných prostředích.
V polovodičíchoplatkazpracování, Solid SiC Focus Rings jsou klíčové pro udržení přesného leptání během suchého leptání a leptání destiček. Fokusační kroužek SiC napomáhá při fokusaci plazmy během procesů, jako jsou operace stroje na plazmové leptání, takže je nepostradatelný pro leptání křemíkových plátků. Pevný materiál SiC nabízí bezkonkurenční odolnost proti erozi, zajišťuje dlouhou životnost vašeho zařízení a minimalizuje prostoje, což je nezbytné pro udržení vysoké propustnosti při výrobě polovodičů.
Solid SiC Focus Ring od společnosti Semicera je navržen tak, aby vydržel extrémní teploty a agresivní chemikálie, se kterými se běžně setkáváme v polovodičovém průmyslu. Je speciálně vytvořen pro použití ve vysoce přesných úkolech, jako je napřCVD SiC povlaky, kde je prvořadá čistota a odolnost. Díky vynikající odolnosti vůči tepelným šokům zajišťuje tento produkt konzistentní a stabilní výkon v nejdrsnějších podmínkách, včetně vystavení vysokým teplotám běhemoplatkaleptací procesy.
V polovodičových aplikacích, kde je klíčová přesnost a spolehlivost, hraje Solid SiC Focus Ring klíčovou roli při zvyšování celkové efektivity procesů leptání. Jeho robustní, vysoce výkonná konstrukce z něj dělá perfektní volbu pro průmyslová odvětví vyžadující vysoce čisté komponenty, které fungují v extrémních podmínkách. Ať už se používá vCVD SiC kroužekaplikace nebo jako součást procesu plazmového leptání, Semicera Solid SiC Focus Ring pomáhá optimalizovat výkon vašeho zařízení a nabízí dlouhou životnost a spolehlivost, kterou vaše výrobní procesy vyžadují.
Klíčové vlastnosti:
• Vynikající odolnost proti opotřebení a vysoká tepelná stabilita
• Vysoce čistý pevný SiC materiál pro prodlouženou životnost
• Ideální pro plazmové leptání, ICP RIE a suché leptání
• Ideální pro leptání plátků, zejména v procesech CVD SiC
• Spolehlivý výkon v extrémních prostředích a vysokých teplotách
• Zajišťuje přesnost a účinnost při leptání křemíkových plátků
Aplikace:
• CVD SiC procesy ve výrobě polovodičů
• Plazmové leptání a systémy ICP RIE
• Suché leptání a leptání plátků
• Leptání a nanášení na plazmových leptacích strojích
• Přesné součástky pro waferové kroužky a CVD SiC kroužky
Mikroskopická morfologie povrchu CVD SiC
Mikroskopická morfologie CVD SiC průřezu
