SemiceraKeramický povlak z karbidu křemíkuje vysoce výkonný ochranný povlak vyrobený z extrémně tvrdého a otěruvzdorného materiálu karbidu křemíku (SiC). Povlak se obvykle nanáší na povrch substrátu procesem CVD nebo PVDčástice karbidu křemíkuposkytuje vynikající odolnost proti chemické korozi a vysokou teplotní stabilitu. Proto je keramický povlak z karbidu křemíku široce používán v klíčových součástech zařízení na výrobu polovodičů.
Ve výrobě polovodičů,SiC povlakdokáže odolat extrémně vysokým teplotám až 1600 °C, takže keramický povlak z karbidu křemíku se často používá jako ochranná vrstva pro zařízení nebo nástroje, aby se zabránilo poškození ve vysokoteplotním nebo korozivním prostředí.
Ve stejnou dobu,keramický povlak z karbidu křemíkumůže odolávat erozi kyselin, zásad, oxidů a dalších chemických činidel a má vysokou odolnost proti korozi vůči řadě chemických látek. Proto je tento produkt vhodný pro různá korozivní prostředí v polovodičovém průmyslu.
Kromě toho má SiC ve srovnání s jinými keramickými materiály vyšší tepelnou vodivost a může účinně vést teplo. Tato vlastnost určuje, že v polovodičových procesech, které vyžadují přesné řízení teploty, je vysoká tepelná vodivostKeramický povlak z karbidu křemíkupomáhá rovnoměrně rozptýlit teplo, zabránit místnímu přehřátí a zajistit provoz zařízení při optimální teplotě.
| Základní fyzikální vlastnosti CVD sic povlaků | |
| Vlastnictví | Typická hodnota |
| Krystalová struktura | FCC β fáze polykrystalická, převážně (111) orientovaná |
| Hustota | 3,21 g/cm³ |
| Tvrdost | Tvrdost 2500 Vickers (zátěž 500g) |
| Velikost zrna | 2~10μm |
| Chemická čistota | 99,99995 % |
| Tepelná kapacita | 640 J·kg-1·K-1 |
| Teplota sublimace | 2700 ℃ |
| Pevnost v ohybu | 415 MPa RT 4-bod |
| Youngův modul | Ohyb 430 Gpa 4pt, 1300℃ |
| Tepelná vodivost | 300W·m-1·K-1 |
| Tepelná roztažnost (CTE) | 4,5×10-6K-1 |
