Přehled produktu
TheNosič pádla a destičky z karbidu křemíku (SiC) impregnovaného křemíkemje navržen tak, aby splňoval náročné požadavky aplikací tepelného zpracování polovodičů. Tento produkt, vyrobený z vysoce čistého SiC a vylepšený silikonovou impregnací, nabízí jedinečnou kombinaci výkonu při vysokých teplotách, vynikající tepelné vodivosti, odolnosti proti korozi a vynikající mechanické pevnosti.
Díky integraci pokročilé materiálové vědy s přesnou výrobou zajišťuje toto řešení výrobcům polovodičů vynikající výkon, spolehlivost a odolnost.
Klíčové vlastnosti
1.Výjimečná odolnost proti vysokým teplotám
S bodem tání přesahujícím 2700 °C jsou materiály SiC ze své podstaty stabilní za extrémního tepla. Silikonová impregnace dále zvyšuje jejich tepelnou stabilitu a umožňuje jim odolávat dlouhodobému vystavení vysokým teplotám bez strukturálního oslabení nebo zhoršení výkonu.
2.Vynikající tepelná vodivost
Výjimečná tepelná vodivost SiC impregnovaného křemíkem zajišťuje rovnoměrné rozložení tepla a snižuje tepelné namáhání během kritických fází zpracování. Tato vlastnost prodlužuje životnost zařízení a minimalizuje prostoje ve výrobě, takže je ideální pro vysokoteplotní tepelné zpracování.
3.Odolnost proti oxidaci a korozi
Na povrchu se přirozeně tvoří robustní vrstva oxidu křemíku, která poskytuje vynikající odolnost proti oxidaci a korozi. To zajišťuje dlouhodobou spolehlivost v náročných provozních prostředích a chrání materiál i okolní komponenty.
4.Vysoká mechanická pevnost a odolnost proti opotřebení
Silikonem impregnovaný SiC se vyznačuje vynikající pevností v tlaku a odolností proti opotřebení, přičemž si zachovává svou strukturální integritu při vysokém zatížení a vysokých teplotách. To snižuje riziko poškození způsobeného opotřebením a zajišťuje konzistentní výkon během prodloužených cyklů používání.
Specifikace
| Název produktu | SC-RSiC-Si |
| Materiál | Impregnace křemíku Kompaktní karbid křemíku (vysoká čistota) |
| Aplikace | Části pro tepelné zpracování polovodičů, části zařízení pro výrobu polovodičů |
| Dodací formulář | Lisované tělo (Slinuté tělo) |
| Složení | Mechanická vlastnost | Youngův modul (GPa) | Pevnost v ohybu (MPa) | ||
| Složení (obj. %) | a-SiC | a-SiC | RT | 370 | 250 |
| 82 | 18 | 800 °C | 360 | 220 | |
| Objemová hmotnost (kg/m³) | 3,02 x 103 | 1200 °C | 340 | 220 | |
| Tepelně odolná teplota°C | 1350 | Poissonův poměr | 0,18 (RT) | ||
| Tepelná vlastnost | Tepelná vodivost (W/(m· K)) | Specifická tepelná kapacita (kJ/(kg·K)) | Koeficient tepelné roztažnosti (1/K) | ||
| RT | 220 | 0,7 | RT~700°C | 3,4 x 10-6 | |
| 700 °C | 60 | 1.23 | 700-1200 °C | 4,3 x 10-6 | |
| Obsah nečistot ((ppm) | |||||||||||||
| Živel | Fe | Ni | Na | K | Mg | Ca | Cr | Mn | Zn | Cu | Ti | Va | Ai |
| Míra obsahu | 3 | <2 | <0,5 | <0,1 | <1 | 5 | 0,3 | <0,1 | <0,1 | <0,1 | <0,3 | <0,3 | 25 |
Aplikace
▪Tepelné zpracování polovodičů:Ideální pro procesy, jako je chemická depozice z plynné fáze (CVD), epitaxní růst a žíhání, kde je rozhodující přesná kontrola teploty a trvanlivost materiálu.
▪Nosiče plátků a pádla:Navrženo pro bezpečné držení a přepravu plátků během vysokoteplotního tepelného zpracování.
▪Extrémní provozní prostředí: Vhodné pro nastavení vyžadující odolnost vůči teplu, chemickému působení a mechanickému namáhání.
Výhody SiC impregnovaného křemíkem
Kombinace vysoce čistého karbidu křemíku a pokročilé technologie impregnace křemíkem poskytuje bezkonkurenční výhody výkonu:
▪Přesnost:Zvyšuje přesnost a kontrolu zpracování polovodičů.
▪Stabilita:Odolává drsnému prostředí bez kompromisů ve funkčnosti.
▪Dlouhověkost:Prodlužuje životnost zařízení na výrobu polovodičů.
▪Účinnost:Zvyšuje produktivitu zajištěním spolehlivých a konzistentních výsledků.
Proč si vybrat naše řešení SiC impregnovaná silikonem?
At Semicera, specializujeme se na poskytování vysoce výkonných řešení přizpůsobených potřebám výrobců polovodičů. Naše pádla a nosiče destiček z karbidu křemíku impregnovaného křemíkem procházejí přísným testováním a zajištěním kvality, aby splňovaly průmyslové standardy. Výběrem Semicera získáte přístup k nejmodernějším materiálům navrženým pro optimalizaci vašich výrobních procesů a rozšíření vašich výrobních možností.
Technické specifikace
▪Materiálové složení:Vysoce čistý karbid křemíku s impregnací křemíku.
▪Rozsah provozních teplot:Až 2700°C.
▪ Tepelná vodivost:Výjimečně vysoká pro rovnoměrné rozložení tepla.
▪Vlastnosti odolnosti:Odolné vůči oxidaci, korozi a opotřebení.
▪Aplikace:Kompatibilní s různými systémy tepelného zpracování polovodičů.
Kontaktujte nás
Jste připraveni pozvednout svůj proces výroby polovodičů? KontaktSemiceradnes se dozvíte více o našem křemíku impregnovaném karbidu křemíku a nosiči plátků.
▪E-mail: sales01@semi-cera.com/sales05@semi-cera.com
▪Telefon: +86-0574-8650 3783
▪Umístění:No.1958 Jiangnan Road, Ningbo High tech, Zone, Zhejiang Province, 315201, Čína
