TaC potažené grafitové vodicí kroužkyodkazují na nanášení tenké vrstvykarbid tantaluna povrchu grafitového vodícího kroužku, aby se zlepšila jeho odolnost proti opotřebení, odolnost vůči vysokým teplotám a chemická stabilita. Tento povlak je obvykle vytvořen na povrchu grafitového vodícího kroužku technikami, jako je fyzikální napařování (PVD) nebo chemické napařování (CVD).
Semicera poskytuje specializované povlaky karbidu tantalu (TaC) pro různé součásti a nosiče.Přední povlakovací proces Semicera umožňuje povlakům z karbidu tantalu (TaC) dosáhnout vysoké čistoty, vysoké teplotní stability a vysoké chemické tolerance, což zlepšuje kvalitu produktu krystalů SIC/GAN a vrstev EPI (TaC susceptor potažený grafitem) a prodloužení životnosti klíčových součástí reaktoru. Použití povlaku karbidu tantalu TaC má vyřešit problém hran a zlepšit kvalitu růstu krystalů a Semicera průlom vyřešila technologii povlakování karbidu tantalu (CVD), čímž dosáhla mezinárodní pokročilé úrovně.
Mezi hlavní vlastnosti grafitových vodicích kroužků potažených TaC patří:
1. Odolnost vůči vysokým teplotám: TaC povlak má vynikající stabilitu při vysokých teplotách a dokáže udržet stabilitu v prostředí s vysokou teplotou.
2. Odolnost proti opotřebení: Vysoká tvrdost tenké vrstvy karbidu tantalu poskytuje vodicímu kroužku dobrou odolnost proti opotřebení a prodlužuje jeho životnost.
3. Chemická stabilita: TaC povlak má vysokou stabilitu proti chemické korozi, takže je vhodný pro aplikace v některých korozivních médiích.
4. Snížení tření: Povlak TaC může účinně snížit tření mezi grafitovým vodicím kroužkem a ostatními součástmi a zlepšit účinnost mechanických ucpávek.
s a bez TaC
Po použití TaC (vpravo)
Navíc Semicera'sProdukty potažené TaCvykazují delší životnost a vyšší odolnost vůči vysokým teplotám ve srovnání sSiC povlaky.Laboratorní měření prokázala, že našeTaC povlakymůže trvale fungovat při teplotách až 2300 stupňů Celsia po dlouhou dobu. Níže uvádíme několik příkladů našich vzorků:
