TaC Coated Plate je specializovaný disk navržený pro použití v epitaxních procesech SiC, vyrobený s přesností z vysoce kvalitního grafitového materiálu. Jeho povrch je pečlivě potažen karbidem tantalu (TaC), sloučeninou známou pro svou výjimečnou čistotu a pevnost. Povlak TaC zvyšuje trvanlivost a odolnost desky vůči vysokým teplotám, takže je ideální pro náročné podmínky epitaxních procesů SiC.
Tato inovativní destička s povlakem TaC je specializovaný kotouč navržený pro použití v epitaxních procesech SiC, vyrobený s přesností z vysoce kvalitního grafitového materiálu. Povrch desky s povlakem TaC je pečlivě potažen karbidem tantalu (TaC), což je sloučenina známá pro svou výjimečnou čistotu a pevnost. slouží jako spolehlivá platforma pro přenášení destiček během různých fází epitaxního růstu SiC. Jeho vysoce čistý grafitový základ poskytuje stabilní a inertní povrch, zatímco povlak TaC přidává další vrstvu ochrany proti chemickým reakcím a opotřebení.
SemicéraTaC Coated Plate je přizpůsobena podle specifických požadavků zákazníků a zajišťuje optimální výkon a kompatibilitu s jejich SiC epitaxními systémy. Ať už jde o velikost, tvar nebo jiné specifikace, tyto desky jsou přizpůsobeny tak, aby vyhovovaly jedinečným potřebám každé aplikace.
s a bez TaC
Po použití TaC (vpravo)
Navíc Semicera'sProdukty potažené TaCvykazují delší životnost a vyšší odolnost vůči vysokým teplotám ve srovnání sSiC povlaky.Laboratorní měření prokázala, že našeTaC povlakymůže trvale fungovat při teplotách až 2300 stupňů Celsia po dlouhou dobu. Níže uvádíme několik příkladů našich vzorků:
