Semicera poskytuje specializované povlaky karbidu tantalu (TaC) pro různé součásti a nosiče.Přední povlakovací proces Semicera umožňuje povlakům z karbidu tantalu (TaC) dosáhnout vysoké čistoty, vysoké teplotní stability a vysoké chemické tolerance, což zlepšuje kvalitu produktu krystalů SIC/GAN a vrstev EPI (TaC susceptor potažený grafitem) a prodloužení životnosti klíčových součástí reaktoru. Použití povlaku karbidu tantalu TaC má vyřešit problém hran a zlepšit kvalitu růstu krystalů a Semicera průlom vyřešila technologii povlakování karbidu tantalu (CVD), čímž dosáhla mezinárodní pokročilé úrovně.
Nosiče plátků potažené karbidem tantalu jsou široce používány v procesech zpracování plátků a manipulace v procesech výroby polovodičů. Poskytují stabilní podporu a ochranu pro zajištění bezpečnosti, přesnosti a konzistence plátků během výrobního procesu. Povlaky z karbidu tantalu mohou prodloužit životnost nosiče, snížit náklady a zlepšit kvalitu a spolehlivost polovodičových produktů.
Popis nosiče plátku potaženého karbidem tantalu je následující:
1. Výběr materiálu: Karbid tantalu je materiál s vynikajícím výkonem, vysokou tvrdostí, vysokým bodem tání, odolností proti korozi a vynikajícími mechanickými vlastnostmi, takže je široce používán v procesu výroby polovodičů.
2. Povrchová vrstva: Povlak z karbidu tantalu se nanáší na povrch nosiče destičky pomocí speciálního procesu nanášení, aby se vytvořil jednotný a hustý povlak karbidu tantalu. Tento povlak může poskytnout dodatečnou ochranu a odolnost proti opotřebení, přičemž má dobrou tepelnou vodivost.
3. Rovinnost a přesnost: Nosič plátků potažený karbidem tantalu má vysoký stupeň rovinnosti a přesnosti, což zajišťuje stabilitu a přesnost plátků během výrobního procesu. Rovnost a povrchová úprava povrchu nosiče jsou rozhodující pro zajištění kvality a výkonu waferu.
4. Teplotní stabilita: Nosiče plátků potažené karbidem tantalu mohou udržovat stabilitu v prostředí s vysokou teplotou bez deformace nebo uvolnění, což zajišťuje stabilitu a konzistenci plátků při vysokoteplotních procesech.
5. Odolnost proti korozi: Povlaky z karbidu tantalu mají vynikající odolnost proti korozi, mohou odolat erozi chemikálií a rozpouštědel a chrání nosič před korozí kapalin a plynů.
s a bez TaC
Po použití TaC (vpravo)
Navíc Semicera'sProdukty potažené TaCvykazují delší životnost a vyšší odolnost vůči vysokým teplotám ve srovnání sSiC povlaky.Laboratorní měření prokázala, že našeTaC povlakymůže trvale fungovat při teplotách až 2300 stupňů Celsia po dlouhou dobu. Níže uvádíme několik příkladů našich vzorků:
