SemiceraTaC Coating Chuck, nejmodernější vakuové sklíčidlo vybavenéTaC povlaky, speciálně navržený pro polovodičové pece. Tato inovativní technologie, navržená tak, aby splňovala přísné požadavky moderních procesů výroby polovodičů, nastavuje nový standard pro přesnost, spolehlivost a dlouhou životnost.
Základem výroby polovodičů je kritická potřeba přesné kontroly a stability během zpracování. TaC Coating Chuck řeší tuto potřebu tím, že integruje pokročiléPovlaky TaC (karbid tantalu).na jeho povrch, což zajišťuje mimořádnou tepelnou stabilitu, trvanlivost a odolnost proti chemické korozi. Tato jedinečná kombinace materiálů nejen zvyšuje výkon sklíčidla, ale také prodlužuje jeho provozní životnost a poskytuje konzistentní výsledky v bezpočtu cyklů.
Jednou z klíčových výhod TaC Coating Chuck je jeho schopnost udržet vysokou úroveň vakuové integrity během celého cyklu zpracování. Účinnou minimalizací odplynění a kontaminace tato technologie zajišťuje čistotu a kvalitu polovodičových materiálů, což má za následek vynikající výkon a spolehlivost zařízení.
Kromě toho TaC Coating Chuck nabízí bezkonkurenční všestrannost a pojme širokou škálu polovodičových substrátů s různými velikostmi a geometriemi. Přizpůsobitelný design TaC Coating Chuck umožňuje bezproblémovou integraci do stávajících systémů polovodičových pecí, minimalizuje prostoje a maximalizuje produktivitu.
S TaC Coating Chuck mohou výrobci polovodičů dosáhnout vyšší propustnosti, lepší výtěžnosti a snížení celkových nákladů. Ať už ve výzkumných laboratořích nebo ve velkoobjemových výrobních zařízeních, tato vyspělá technologie umožňuje profesionálům v oblasti polovodičů posouvat hranice inovací při zachování přísných standardů kvality.
s a bez TaC
Po použití TaC (vpravo)
Navíc Semicera'sProdukty potažené TaCvykazují delší životnost a vyšší odolnost vůči vysokým teplotám ve srovnání sSiC povlaky.Laboratorní měření prokázala, že našeTaC povlakymůže trvale fungovat při teplotách až 2300 stupňů Celsia po dlouhou dobu. Níže uvádíme několik příkladů našich vzorků:
