Grafitový plech potažený karbidem tantaluje grafitový materiál s tenkou vrstvoukarbid tantaluna povrchu substrátu. Tenká vrstva karbidu tantalu se obvykle vytváří na povrchu grafitového substrátu technikami, jako je fyzikální napařování (PVD) nebo chemické napařování (CVD). Tento povlak má vynikající vlastnosti, jako je vysoká tvrdost, vynikající odolnost proti opotřebení, odolnost proti korozi a vysoká teplotní stabilita.
Semicera poskytuje specializované povlaky karbidu tantalu (TaC) pro různé součásti a nosiče.Přední povlakovací proces Semicera umožňuje povlakům z karbidu tantalu (TaC) dosáhnout vysoké čistoty, vysoké teplotní stability a vysoké chemické tolerance, což zlepšuje kvalitu produktu krystalů SIC/GAN a vrstev EPI (TaC susceptor potažený grafitem) a prodloužení životnosti klíčových součástí reaktoru. Použití povlaku karbidu tantalu TaC má vyřešit problém hran a zlepšit kvalitu růstu krystalů a Semicera průlom vyřešila technologii povlakování karbidu tantalu (CVD), čímž dosáhla mezinárodní pokročilé úrovně.
Mezi hlavní výhody grafitového plechu potaženého karbidem tantalu patří:
1. Odolnost vůči vysokým teplotám: Karbid tantalu má vysoký bod tání a vynikající stabilitu při vysokých teplotách, díky čemuž je potažená grafitová deska vhodná pro použití v prostředí s vysokou teplotou.
2. Odolnost proti korozi: Povlak z karbidu tantalu může odolat erozi mnoha chemických korozivních látek a prodloužit životnost materiálu.
3. Vysoká tvrdost: Vysoká tvrdost tenké vrstvy karbidu tantalu poskytuje dobrou odolnost proti opotřebení a je vhodná pro aplikace vyžadující vysokou odolnost proti opotřebení.
4. Chemická stabilita: Povlak z karbidu tantalu má vynikající stabilitu vůči chemické korozi a je vhodný pro použití v některých korozivních médiích.
s a bez TaC
Po použití TaC (vpravo)
Navíc Semicera'sProdukty potažené TaCvykazují delší životnost a vyšší odolnost vůči vysokým teplotám ve srovnání sSiC povlaky.Laboratorní měření prokázala, že našeTaC povlakymůže trvale fungovat při teplotách až 2300 stupňů Celsia po dlouhou dobu. Níže uvádíme několik příkladů našich vzorků:
