Nosná deska susceptoru potažená karbidem tantaluje susceptor nebo nosná struktura, která je pokryta tenkou vrstvoukarbid tantalu. Tento povlak může být vytvořen na povrchu susceptoru technikami, jako je fyzikální depozice z plynné fáze (PVD) nebo chemická depozice z plynné fáze (CVD), což dává susceptoru vynikající vlastnostikarbid tantalu.
Semicera poskytuje specializované povlaky karbidu tantalu (TaC) pro různé součásti a nosiče.Přední povlakovací proces Semicera umožňuje povlakům z karbidu tantalu (TaC) dosáhnout vysoké čistoty, vysoké teplotní stability a vysoké chemické tolerance, což zlepšuje kvalitu produktu krystalů SIC/GAN a vrstev EPI (TaC susceptor potažený grafitem) a prodloužení životnosti klíčových součástí reaktoru. Použití povlaku karbidu tantalu TaC má vyřešit problém hran a zlepšit kvalitu růstu krystalů a Semicera průlom vyřešila technologii povlakování karbidu tantalu (CVD), čímž dosáhla mezinárodní pokročilé úrovně.
Mezi hlavní vlastnosti základových desek potažených karbidem tantalu patří:
1. Vysoká teplotní stabilita: Karbid tantalu má vynikající stabilitu při vysokých teplotách, díky čemuž je potažená základní nosná deska vhodná pro potřeby podpory v pracovních prostředích s vysokou teplotou.
2. Odolnost proti korozi: Povlak z karbidu tantalu má dobrou odolnost proti korozi, odolá chemické korozi a oxidaci a prodlužuje životnost základny.
3. Vysoká tvrdost a odolnost proti opotřebení: Vysoká tvrdost povlaku karbidu tantalu poskytuje základní nosné desce dobrou odolnost proti opotřebení, což je vhodné pro příležitosti vyžadující vysokou odolnost proti opotřebení.
4. Chemická stabilita: Karbid tantalu má vysokou stabilitu vůči řadě chemických látek, díky čemuž potažená základní nosná deska funguje dobře v některých korozivních prostředích.
s a bez TaC
Po použití TaC (vpravo)
Navíc Semicera'sProdukty potažené TaCvykazují delší životnost a vyšší odolnost vůči vysokým teplotám ve srovnání sSiC povlaky.Laboratorní měření prokázala, že našeTaC povlakymůže trvale fungovat při teplotách až 2300 stupňů Celsia po dlouhou dobu. Níže uvádíme několik příkladů našich vzorků:
