Vysoce čistý porézní válec potažený karbidem tantalu

Krátký popis:

Vysoce čistý porézní sud s povlakem karbidu tantalu společnosti Semicera je speciálně navržen pro pece pro růst krystalů karbidu křemíku (SiC). Tato hlaveň s vysoce čistým povlakem karbidu tantalu a porézní strukturou poskytuje výjimečnou tepelnou stabilitu a odolnost proti chemické korozi. Pokročilá technologie povlakování společnosti Semicera zajišťuje dlouhotrvající výkon a účinnost v procesech růstu krystalů SiC, díky čemuž je ideální volbou pro náročné polovodičové aplikace.


Detail produktu

Štítky produktu

Porézní karbid tantalu potaženýhlaveň je karbid tantalu jako hlavní povlakový materiál, karbid tantalu má vynikající odolnost proti korozi, odolnost proti opotřebení a vysokou teplotní stabilitu. Může účinně chránit základní materiál před chemickou erozí a vysokoteplotní atmosférou. Základní materiál má obvykle vlastnosti vysoké teplotní odolnosti a odolnosti proti korozi. Může poskytovat dobrou mechanickou pevnost a chemickou stabilitu a zároveň sloužit jako nosný základpovlak z karbidu tantalu.

 

Semicera poskytuje specializované povlaky karbidu tantalu (TaC) pro různé součásti a nosiče.Přední povlakovací proces Semicera umožňuje povlakům z karbidu tantalu (TaC) dosáhnout vysoké čistoty, vysoké teplotní stability a vysoké chemické tolerance, což zlepšuje kvalitu produktu krystalů SIC/GAN a vrstev EPI (TaC susceptor potažený grafitem) a prodloužení životnosti klíčových součástí reaktoru. Použití povlaku karbidu tantalu TaC má vyřešit problém hran a zlepšit kvalitu růstu krystalů a Semicera průlom vyřešila technologii povlakování karbidu tantalu (CVD), čímž dosáhla mezinárodní pokročilé úrovně.

 

Po letech vývoje si Semicera podmanila technologiiCVD TaCspolečným úsilím oddělení výzkumu a vývoje. Vady se snadno vyskytnou v procesu růstu SiC waferů, ale po použitíTaC, rozdíl je značný. Níže je srovnání destiček s a bez TaC, stejně jako dílů Simicera pro růst monokrystalů.

微信图片_20240227150045

s a bez TaC

微信图片_20240227150053

Po použití TaC (vpravo)

Navíc Semicera'sProdukty potažené TaCvykazují delší životnost a vyšší odolnost vůči vysokým teplotám ve srovnání sSiC povlaky.Laboratorní měření prokázala, že našeTaC povlakymůže trvale fungovat při teplotách až 2300 stupňů Celsia po dlouhou dobu. Níže uvádíme několik příkladů našich vzorků:

 
0(1)
Semicera Pracovní místo
Semicera pracoviště 2
Zařízení stroje
Skladový dům Semicera
CNN zpracování, chemické čištění, CVD povlak
Naše služba

  • Předchozí:
  • Další: