Ozubené kolo s povlakem SiC: Zvýšení efektivity výroby polovodičů

V rychle se rozvíjející oblasti výroby polovodičů je přesnost a odolnost zařízení prvořadá pro dosažení vysokých výnosů a kvality. Jednou z klíčových součástí, která to zajišťuje, je ozubené kolo SiC Coating Wheel Gear, navržené pro zlepšení efektivity procesů, jako je napřSi EpitaxeaSiC epitaxe. Ve společnosti Semicera se specializujeme na vývoj pokročilých ozubených kol s povlakem SiC, která splňují náročné potřeby moderní výroby polovodičů a nabízejí vynikající odolnost proti opotřebení a tepelnou stabilitu.

SiC Coating Wheel Gears hrají klíčovou roli v zařízeních používaných pro epitaxní růst, kde zajišťují hladký pohyb a přesné ovládání substrátů. Tato ozubená kola s jejichpovlak z karbidu křemíku, poskytují zvýšenou životnost a odolnost proti korozi, díky čemuž jsou ideální pro prostředí s vysokými teplotami a agresivními chemikáliemi. To je zvláště důležité u procesů využívajícíchSusceptory MOCVD, kde ukládání materiálů vyžaduje stabilní a spolehlivou podporu.

Kromě jejich funkce vSi EpitaxeaSiC epitaxeOzubená kola SiC Coating Wheel od společnosti Semicera jsou také nezbytná pro další polovodičové aplikace. Například jsou integrovány do systémů sNosiče leptání PSS, nezbytný pro výrobu jednotných a vysoce kvalitních LED waferů. Díky své vysoké přesnosti a pevnosti jsou také vhodné proNosiče leptání ICP, kde je potřeba přesných tolerancí zásadní v procesech iontového leptání. Navíc jejich schopnost odolávat rychlým tepelným přechodům je činí vysoce účinnými v nosičích RTP používaných při žíhání polovodičů.

Další důležitou aplikací SiC Coating Wheel Gears je výroba LED epitaxních susceptorů, kde jejich trvanlivost a tepelná odolnost pomáhají udržovat integritu susceptoru během vysokoteplotních operací. To vede k vyšší propustnosti a spolehlivosti při výrobě LED waferů.

Začleněním pokročilých SiC Coating Wheel Gears společnosti Semicera mohou výrobci dosáhnout lepšího výkonu, zkrácení prostojů a vyšší účinnosti ve svých procesech výroby polovodičů. Ať už jde o Si epitaxi, SiC epitaxi nebo manipulaci s MOCVD susceptory, tato ozubená kola poskytují odolnost a přesnost potřebnou pro splnění vysokých požadavků polovodičového průmyslu.

Další informace naleznete na adrese:
Oficiální webové stránky Semicera:https://www.semi-cera.com/


Čas odeslání: 24. září 2024