Proces s povlakem SiC pro grafitové nosiče s povlakem SiC

Stručný popis:

Semicera Energy Technology Co., Ltd. je předním dodavatelem pokročilé polovodičové keramiky.Mezi naše hlavní produkty patří: leptané kotouče z karbidu křemíku, lodní přívěsy z karbidu křemíku, lodě z karbidu křemíku (PV & Semiconductor), pece z karbidu křemíku, konzolová lopatka z karbidu křemíku, sklíčidlo z karbidu křemíku, nosníky z karbidu křemíku a také povlaky CVD SiC TaC povlaky.
Produkty se používají hlavně v polovodičovém a fotovoltaickém průmyslu, jako je růst krystalů, epitaxe, leptání, balení, potahování a zařízení difuzních pecí.

 

Detail produktu

Štítky produktu

Popis

Při aplikaci dodržujeme velmi úzké toleranceSiC povlaks použitím vysoce přesného obrábění pro zajištění jednotného profilu susceptoru.Vyrábíme také materiály s ideálními vlastnostmi elektrického odporu pro použití v indukčně vyhřívaných systémech.Všechny hotové komponenty jsou dodávány s certifikátem čistoty a rozměrové shody.

Naše společnost poskytujeSiC povlakprocesní služby metodou CVD na povrchu grafitu, keramiky a dalších materiálů tak, že speciální plyny obsahující uhlík a křemík reagují při vysoké teplotě za získání vysoce čistých molekul SiC, molekul usazených na povrchu potažených materiálů, tvořících ochrannou vrstvu SIC.Vytvořený SIC je pevně spojen s grafitovou základnou, což dává grafitové základně speciální vlastnosti, díky čemuž je povrch grafitu kompaktní, bez pórovitosti, odolnost proti vysokým teplotám, odolnost proti korozi a odolnost proti oxidaci.

gf (1)

Proces CVD poskytuje extrémně vysokou čistotu a teoretickou hustotuSiC povlakbez poréznosti.A co víc, protože karbid křemíku je velmi tvrdý, lze jej vyleštit do zrcadlového povrchu.CVD povlak z karbidu křemíku (SiC).přineslo několik výhod včetně ultra vysoké čistoty povrchu a extrémní odolnosti proti opotřebení.Protože potažené produkty mají skvělý výkon ve vysokém vakuu a vysoké teplotě, jsou ideální pro aplikace v polovodičovém průmyslu a jiném ultračistém prostředí.Poskytujeme také produkty z pyrolytického grafitu (PG).

 

Hlavní rysy

1. Odolnost proti oxidaci při vysokých teplotách:
odolnost proti oxidaci je stále velmi dobrá, když je teplota až 1600 C.
2. Vysoká čistota: vyrobena chemickou depozicí par za podmínek chlorace při vysoké teplotě.
3. Odolnost proti erozi: vysoká tvrdost, kompaktní povrch, jemné částice.
4. Odolnost proti korozi: kyselinám, zásadám, solím a organickým činidlům.

Hlavní-05

Hlavní-04

Hlavní-03

Hlavní specifikace povlaků CVD-SIC

SiC-CVD
Hustota (g/cc) 3.21
Pevnost v ohybu (Mpa) 470
Teplotní roztažnost (10-6/K) 4
Tepelná vodivost (W/mK) 300

aplikace

CVD povlak z karbidu křemíku již byl aplikován v polovodičovém průmyslu, jako je MOCVD zásobník, RTP a oxidová leptací komora, protože nitrid křemíku má velkou odolnost proti tepelným šokům a může odolat vysokoenergetickému plazmatu.
-Karbid křemíku je široce používán v polovodičích a povlakech.

aplikace

Schopnost zásobování:
10 000 kusů/kusů za měsíc
Balení a doručení:
Balení: Standardní a silné balení
Poly bag + krabice + karton + paleta
Přístav:
Ningbo/Shenzhen/Šanghaj
Dodací lhůta:

Množství (kusy) 1 – 1000 >1000
Odhad.čas (dny) 15 K vyjednávání
Semicera Pracovní místo
Semicera pracoviště 2
Zařízení stroje
CNN zpracování, chemické čištění, CVD povlak
Naše služba

  • Předchozí:
  • Další: