Popis
Při aplikaci dodržujeme velmi úzké toleranceSiC povlaks použitím vysoce přesného obrábění pro zajištění jednotného profilu susceptoru. Vyrábíme také materiály s ideálními vlastnostmi elektrického odporu pro použití v indukčně vyhřívaných systémech. Všechny hotové komponenty jsou dodávány s certifikátem čistoty a rozměrové shody.
Naše společnost poskytujeSiC povlakprocesní služby metodou CVD na povrchu grafitu, keramiky a dalších materiálů tak, že speciální plyny obsahující uhlík a křemík reagují při vysoké teplotě za získání vysoce čistých molekul SiC, molekul usazených na povrchu potažených materiálů, tvořících ochrannou vrstvu SIC. Vytvořený SIC je pevně spojen s grafitovou základnou, což dává grafitové základně speciální vlastnosti, díky čemuž je povrch grafitu kompaktní, bez pórovitosti, odolnost proti vysokým teplotám, odolnost proti korozi a odolnost proti oxidaci.
Proces CVD poskytuje extrémně vysokou čistotu a teoretickou hustotuSiC povlakbez poréznosti. A co víc, protože karbid křemíku je velmi tvrdý, lze jej vyleštit do zrcadlového povrchu.CVD povlak z karbidu křemíku (SiC).přineslo několik výhod včetně ultra vysoké čistoty povrchu a extrémní odolnosti proti opotřebení. Protože potažené produkty mají skvělý výkon ve vysokém vakuu a vysoké teplotě, jsou ideální pro aplikace v polovodičovém průmyslu a jiném ultračistém prostředí. Poskytujeme také produkty z pyrolytického grafitu (PG).
Hlavní vlastnosti
1. Odolnost proti oxidaci při vysokých teplotách:
odolnost proti oxidaci je stále velmi dobrá, když je teplota až 1600 C.
2. Vysoká čistota: vyrobena chemickou depozicí par za podmínek chlorace při vysoké teplotě.
3. Odolnost proti erozi: vysoká tvrdost, kompaktní povrch, jemné částice.
4. Odolnost proti korozi: kyselinám, zásadám, solím a organickým činidlům.
Hlavní specifikace povlaků CVD-SIC
| SiC-CVD | ||
| Hustota | (g/cc) | 3.21 |
| Pevnost v ohybu | (Mpa) | 470 |
| Tepelná roztažnost | (10-6/K) | 4 |
| Tepelná vodivost | (W/mK) | 300 |
Aplikace
CVD povlak z karbidu křemíku byl již aplikován v polovodičovém průmyslu, jako je MOCVD zásobník, RTP a oxidová leptací komora, protože nitrid křemíku má velkou odolnost proti tepelným šokům a může odolat vysokoenergetickému plazmatu.
-Karbid křemíku je široce používán v polovodičích a povlakech.
Aplikace
Schopnost zásobování:
10 000 kusů/kusů za měsíc
Balení a doručení:
Balení: Standardní a silné balení
Poly bag + krabice + karton + paleta
Přístav:
Ningbo/Shenzhen/Šanghaj
Dodací lhůta:
| Množství (kusy) | 1 – 1000 | >1000 |
| Odhad. čas (dny) | 30 | K vyjednávání |
