SOI oplatky

Stručný popis:

SOI wafer je sendvičová struktura se třemi vrstvami;Včetně horní vrstvy (vrstva zařízení), středu uložené kyslíkové vrstvy (pro izolační vrstvu SiO2) a spodního substrátu (hromadný křemík).SOI wafery jsou vyráběny metodou SIMOX a technologií wafer bonding, která umožňuje tenčí a přesnější vrstvy zařízení, rovnoměrnou tloušťku a nízkou hustotu defektů.

Pošlete nám e-mail

Detail produktu

Štítky produktu

SOI oplatky (1)

Oblast použití

1. Vysokorychlostní integrovaný obvod

2. Mikrovlnná zařízení

3. Vysokoteplotní integrovaný obvod

4. Napájecí zařízení

5. Nízkoenergetický integrovaný obvod

6. MEMS

7. Nízkonapěťový integrovaný obvod

Položka		Argument
Celkově	Průměr plátku 晶圆尺寸 (mm)	50/75/100/125/150/200mm±25um
	Luk/Warp 翘曲度(	<10um
	Částice 颗粒度(	0,3 um < 30 ea
	Plochy/Zářez 定位边/定位槽	Plochý nebo zářez
	Vyloučení okrajů 边缘去除 (mm)	/
Vrstva zařízení 器件层	Typ na vrstvě zařízení/Dopant 器件层掺杂类型	N-Type/P-Type B/ P/ Sb / As
	Orientace na úrovni zařízení 器件层晶向	<1-0-0> / <1-1-1> / <1-1-0>
	Tloušťka vrstvy zařízení 器件层厚度 (um)	0,1~300um
	Odpor na vrstvě zařízení 器件层电阻率 (ohm•cm)	0,001~100 000 ohm-cm
	Částice na vrstvě zařízení 器件层颗粒度(	<30ea@0.3
	Zařízení Layer TTV 器件层TTV(	<10um
	Dokončení vrstvy zařízení 器件层表面处理	Leštěný
BOX	Tloušťka pohřbeného tepelného oxidu 埋氧层厚度 (um)	50nm (500Á)~15um
Vrstva rukojeti 衬底	Rukojeť typu wafer/Dopant 衬底层类型	N-Type/P-Type B/ P/ Sb / As
	Orientace rukojeti 衬底晶向	<1-0-0> / <1-1-1> / <1-1-0>
	Manipulujte s odporem destičky 衬底电阻率 (ohm•cm)	0,001~100 000 ohm-cm
	Tloušťka rukojeti 衬底厚度 (um)	> 100 um
	Rukojeť Wafer Finish 衬底表面处理	Leštěný
SOI wafery cílových specifikací lze upravit podle požadavků zákazníka.