Semicera'sSiC pádlajsou navrženy pro minimální tepelnou roztažnost, poskytují stabilitu a přesnost v procesech, kde je rozměrová přesnost rozhodující. Díky tomu jsou ideální pro aplikace, kdeoplatkyjsou vystaveny opakovaným cyklům zahřívání a ochlazování, protože člun si zachovává svou strukturální integritu a zajišťuje konzistentní výkon.
Začlenění Semicera'sdifuzní lopatky z karbidu křemíkudo vaší výrobní linky zvýší spolehlivost vašeho procesu díky svým vynikajícím tepelným a chemickým vlastnostem. Tyto lopatky jsou ideální pro procesy difúze, oxidace a žíhání, což zajišťuje, že s destičkami se v každém kroku zachází opatrně a přesně.
Inovace jsou jádrem společnosti SemiceraSiC pádlodesign. Tato pádla jsou přizpůsobena tak, aby bez problémů zapadla do stávajícího polovodičového vybavení a poskytovala zvýšenou efektivitu manipulace. Lehká konstrukce a ergonomický design nejen zlepšují přepravu plátků, ale také snižují provozní prostoje, což má za následek zefektivnění výroby.
| Fyzikální vlastnosti rekrystalizovaného karbidu křemíku | |
| Vlastnictví | Typická hodnota |
| Pracovní teplota (°C) | 1600 °C (s kyslíkem), 1700 °C (redukující prostředí) |
| obsah SiC | > 99,96 % |
| Volný obsah Si | < 0,1 % |
| Objemová hmotnost | 2,60-2,70 g/cm3 |
| Zjevná pórovitost | < 16 % |
| Pevnost v tlaku | > 600 MPa |
| Pevnost v ohybu za studena | 80-90 MPa (20 °C) |
| Pevnost v ohybu za tepla | 90-100 MPa (1400 °C) |
| Tepelná roztažnost @1500°C | 4,70 10-6/°C |
| Tepelná vodivost @1200°C | 23 W/m•K |
| Modul pružnosti | 240 GPa |
| Odolnost proti tepelným šokům | Mimořádně dobré |
